Патент №2461803 - Способ бесконтактного измерения нановибраций поверхности

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники. В способе в качестве излучателя используют гелий-неоновый активный элемент, оптимизированный для получения лазерного излучения на длине волны 3.39 мкм и помещенный в полуконфокальный резонатор с двумя отражающими поверхностями. Радиус кривизны поверхности вогнутого зеркала соизмерим с удвоенной длиной активного элемента. В качестве второй отражающей поверхности резонатора используется исследуемая поверхность. Ось резонатора юстируют перпендикулярно исследуемой поверхности до возникновения генерации и получения ее максимального значения, перестраивают длину резонатора при сканировании сферического зеркала в пределах длины волны и измеряют значение выходной лазерной мощности. Длину резонатора настраивают на линейный участок зависимости лазерной мощности от длины резонатора и измеряют переменную составляющую лазерной мощности, пропорциональной колебаниям поверхности. Анализируют переменную составляющую фотодетектора и с помощью Фурье или Вейвлет преобразования определяют амплитуды и частоты колебаний исследуемой поверхности. Технический результат заключается в расширении частотного диапазона измеряемых амплитуд нановибраций и в обеспечении возможности проведения бесконтактного измерения абсолютных динамических смещений зондируемой поверхности с микронным пространственным разрешением. 2 ил.