Патент №2474912 - Способ получения газопоглощающей структуры
Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой поверхностью, соединенный с несущей подложкой, обеспечивающей механическую прочность газопоглотителя и возможность его монтажа в различные устройства. Технический результат - повышение эффективности поверхности и сорбционной емкости. 8 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B81C 1/00 | Изготовление или обработка устройств или систем, выполненных внутри общей подложки или на ней |
| МПК H01J 7/18 | Конструктивные элементы и особенности, не указанные в группах 1/00 - устройства для абсорбции или адсорбции газа, например с помощью газопоглотителей |