Патент №2490519 - Турбомолекулярный насос с однопоточной турбомолекулярной проточной частью

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам. Проточная часть насоса включает три ступени: турбомолекулярную и две молекулярных ступени. Верхний корпус 1 закреплен на торце выступа среднего корпуса 2, концентрично его наружной поверхности. Внутренняя поверхность корпуса 1 ограничена по торцам двумя внутренними выточками 15, 16 и содержит многозаходные винтовые канавки 17 с углом захода против вращения ротора 6. Корпус 2 выполнен с внешним торцевым фланцем 18 и содержит сквозные отверстия 19. Наружная поверхность цилиндрического выступа 13 корпуса 2 содержит многозаходные винтовые канавки 20 с углом захода в сторону вращения ротора 6. Верхняя часть ротора 6, выполненная в форме толстостенного цилиндра 21 с фрезерованными лопатками 7, имеющими угол наклона в сторону вращения ротора 6, при этом наружный диаметр цилиндра 21 в верхней части ротора 6 превышает наружный диаметр полого цилиндра 26 в нижней части ротора 6. Верхняя часть размещена внутри выточки 16 корпуса 1, образуя первую турбомолекулярную ступень проточной части. Концентрично расположенные напротив друг друга эквидистантные цилиндрические участки между внутренней поверхностью с канавками 17 корпуса 1, стенками полого цилиндра в нижней части ротора 6 и наружной поверхностью с канавками 20 корпуса 2 образуют вторую и третью молекулярные ступени проточной части. Изобретение направлено на разработку надежного, высокоэффективного турбомолекулярного насоса, обладающего улучшенными технико-эксплуатационными характеристиками. 6 з.п. ф-лы, 3 ил.