Патент №2491505 - Способ определения шероховатости поверхности

Способ может быть использован для прецизионного контроля изделий в машиностроении и приборостроении. Способ реализуется интерференционным методом. На исследуемой поверхности выбирают несколько участков, фазовое изображение каждого из которых может быть получено на фотоприемнике микроскопа. Определяют фазовое изображение каждого участка, для чего при различных значениях фазы опорного пучка определяют не менее трех значений энергии, воспринятой каждым пикселем фотоприемника за время экспозиции, причем сдвиг фазы опорного пучка осуществляют путем изменения положения фазового модулятора. Для определения каждого значения воспринятой пикселем энергии получают зависимость освещенности пикселя от времени при изменении положения фазового модулятора и интегрируют полученную зависимость на интервале времени экспозиции. Интерпретируют фазовое изображение каждого участка и определяют шероховатость каждого участка с последующим усреднением шероховатости по всем участкам и получают шероховатость поверхности. В качестве фазового модулятора может быть использовано зеркало, выполненное с возможностью перемещения вдоль линии оптического пути опорного пучка. Технический результат - повышение точности определения шероховатости поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.