Патент №2491525 - Метод интерферометрического контроля на рабочей длине волны качества изображения и дисторсии оптических систем

Изобретение может быть использовано для контроля при сборке и юстировке высокоразрешающих оптических систем. Метод включает формирование излучения на рабочей длине волны интерферометром в виде гомоцентрического пучка лучей, центр которого является тест-объектом, который совмещают с предметной плоскостью исследуемого объектива. После прохождения исследуемого объектива происходит отражение пучка лучей от контрзеркала, которое обеспечивает условие падения лучей по нормали и возврат их через объектив обратно в интерферометр, где происходят сложение пучка лучей с эталонным волновым фронтом интерферометра и регистрация интерферограмм. Определяют искажения волнового фронта пучка лучей, дважды прошедшего через исследуемый объектив, при этом определяют положение центра пучка лучей, формируемых интерферометром, и контрзеркала для каждой отдельной точки поля. При определении волновых аберраций и дисторсии по всему полю изображения и глубине фокуса данный цикл действий повторяют для нескольких требуемых взаимно согласованных положений интерферометра и контрзеркала. Технический результат - возможность одновременного измерения дисторсии и других типов аберраций как проекционных объективов, так и объективов для дистанционного зондирования. 1 ил.