Патент №2502144 - Способ изготовления многокапиллярного коллиматора для атомно-лучевой трубки

Изобретение может использоваться в квантовой радиофизике, при изготовлении коллиматоров атомно-лучевых трубок, необходимых для формирования атомных пучков, например, в квантовых стандартах частоты. Способ изготовления многокапиллярного коллиматора для атомно-лучевой трубки включает изготовление перфорированных металлических пластин, сборку их в пакет и последующую фиксацию. Изготовление упомянутых пластин проводят методами гальванопластики. Сборку пакета осуществляют совмещением по знакам двух и более пластин с помещенным между ними прозрачным полимером, преимущественно фоторезистом. Фиксацию пластин проводят после полимеризации последнего путем сварки каждой пластины с соседними, после чего полимер удаляют и на поверхности сборки, в том числе на внутренней поверхности сквозных отверстий, образующих капилляры, химическим осаждением наращивают слой металла. Сварка пластин с соседними может проводиться по их торцам внутри знаков совмещения на установке сварки расщепленным электродом. Удаление полимера осуществляют путем плазмохимического травления. Техническим результатом является возможность изготовления коллиматора с капиллярами требуемого диаметра и количества при оптимальном расстоянии между ними и улучшение их вертикальности и качества внутренней поверхности. 3 з.п. ф-лы.