Патент №2507318 - Способ получения кремниевых филаментов произвольного сечения (варианты)
Изобретение относится к технологии получения высокочистых полупроводниковых материалов для электронной, электротехнической промышленности и солнечной энергетики. Один из вариантов получения кремниевых филаментов в виде прутков и/или подложек произвольного сечения из высокочистого кремния включает непрерывное литье кремния из расплава вниз на затравку через фильеру, расположенную между зоной расплава и индуктором в атмосфере кислорода, охлаждение получаемого филамента погружением в охлаждающую среду, при этом затравление осуществляют ниже плоскости фильеры, уровень охлаждающей среды устанавливают и поддерживают вблизи фронта кристаллизации, а фронт кристаллизации кремниевых прутков и/или подложек удерживают ниже плоскости фильеры на расстоянии от 0,5 до 20 мм. Техническим результатом является получение кремниевых филаментов, характеризующихся низким электрическим сопротивлением (от единиц и менее 1 Ом·см), которые поддаются разогреву при пропускании через них электрического тока промышленной частоты от источника низкого напряжения (менее 1000 В), при сохранении высокой скорости литья, а также стабильных пластических и геометрических характеристик готовой продукции. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 1 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК C30B 13/20 | Выращивание монокристаллов зонной плавкой; очистка зонной плавкой - индукцией, например нагревательными элементами 13/18 имеет преимущество; индукционные катушки H 05B 6/36 |
МПК C30B 15/34 | Выращивание монокристаллов вытягиванием из расплава, например по методу Чохральского - выращивание из пленки кристаллов с определенными гранями с использованием формоизменяющих матриц или щелей |
МПК C30B 29/06 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - кремний |
МПК C30B 29/66 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - кристаллы сложной геометрической формы, например трубки, цилиндры |