Патент №2517706 - Способ синтеза покрытий производных фуллеренов
Изобретение относится к способу синтеза покрытий производных фуллеренов. Способ включает физическое распыление в вакууме мишени ионным пучком, перенос пара к ростовой поверхности подложек и наращивание покрытий заданного состава и определенной структуры. При этом характеризуется тем, что распыляемая ионами мишень выполнена из фуллереновой смеси 0,8 C60, 0,15 C70, 0,04 высших фуллеренов и 0,01 оксиды C60 O и C70O с долевым массовым содержанием соответствующего допирующего элемента 0,02 Fe, 0,01 Na, 0,01 B, 0,003 Gd или 0,01 Se. Использование предлагаемого способа позволяет повысить эффективность процесса благодаря новому подходу к получению покрытий, содержащих фуллерены и элементы примеси, снизить энергозатраты, увеличить производительность. 1 з.п. ф-лы, 1 пр.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК B82B 3/00 | Изготовление или обработка наноструктур |
МПК C01B 31/00 | Углерод; его соединения |