Патент №2087048 - Способ парофазно-химического стимулированного плазмой осаждения газочувствительной пленки

Использование: аналитическое приборостроение, а именно способы получения газочувствительной пленки датчиков газа. Сущность изобретения: помещают подложку в реактор, производят предварительную откачку реактора, нагрев подложки до температуры 280-300oC, напуск в реактор смеси реактивных газов, состоящей из кислорода и тетраэтилолова. Устанавливая конкретное соотношение компонентов по объему из интервала кислород: тетраэтилолово как 0,2-3:1 и выдерживая подложку при плотности мощности ВЧ разряда от 0,1 до 0,4 Вт/см2, получают пленки, обладающие чувствительностью к различным газам, 5 з.п.ф-лы, 1 табл.