Патент №2097872 - Неразрушающий способ определения подвижности носителей заряда в полупроводниковых структурах на полуизолирующих подложках и устройство для его осуществления

Использование: полупроводниковая техника для неразрушающего контроля параметров полупроводниковых материалов. Неразрушающий СВЧ- способ измерения подвижности носителей заряда в полупроводниковых структурах на полуизолирующих подложках предусматривает формирование неразрушающих контактов к структуре: со стороны полуизолирующей подложки - жидкого, прозрачного для СВЧ-излучения, а со стороны поверхности проводящего слоя - прижимного. Через данные контакты к n-i переходу пленка - полуизолирующая подложка прикладывают обратное постоянное смещение Vподл, которое изменяет ширину области обеднения n-i перехода, и модулируют толщину n-i перехода, прикладывая через эти контакты переменное смещение v~подл , модулируя тем самым проводимость слоя на краю области обеднения n-i перехода, причем сумма vподл + v~подл не превосходит напряжения пробоя n-i перехода. Из измеряемой отраженной СВЧ-мощности выделяют переменную составляющую, из магнитополевой зависимости которой определяют подвижность как функцию обратного смещения, приложенного к n-i переходу, по формуле: , где PСВЧ - переменная составляющая отраженной СВЧ мощности; (vподл) - - подвижность как функция обратного смещения Vподл; B - магнитная индукция. 2 с.п.ф-лы, 3 ил.