Патент №2183876 - способ изготовления пленочных резисторов

Изобретение относится к технологии электронной техники и может быть использовано при изготовлении электрорадиоизделий, входящих в состав устройств приема, передачи и обработки сигналов, а также датчиков параметров внешней среды. Технический результат: повышение выхода годных за счет снижения электрической неоднородности пленок. Сущность изобретения: в способе изготовления пленочных резисторов, включающем нанесение на диэлектрическую подложку резистивной пленки, циклическую низкотемпературную обработку в жидком азоте и отжиг, отжиг производится в среде азота при давлении выше атмосферного путем пропускания через резистор импульсов электрического тока. 1 табл.