Патент №2220475 - Способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине при глубинном анизотропном травлении

Изобретение относится к микромеханике, преимущественно к технологии изготовления микропрофилированных интегральных механоэлектрических тензопреобразователей, и может быть использовано при разработке и производстве интегральных датчиков механических величин или микроэлектромеханических систем, содержащих трехмерные кремниевые микроструктуры. Сущность изобретения заключается в защите углов трехмерных микромеханических структур механоэлектрических преобразователей при глубинном анизотропном травлении кремния с помощью сформированных Т-образных элементов защитной маски из металлической структуры V-Cu"-Cu"", включающей тонкопленочную структуру ванадия и меди V-Cu" и гальванический слой меди Сu"", а каждый из Т-образных элементов защиты выполняют в форме двух полосок - продольной вдоль кристаллографического направления [110] высотой В и поперечной шириной Ш, расположенной в поперечном направлении под прямым углом к продольной полоске, при этом травление проводят до тех пор, пока продольные кремниевые элементы, сформированные в области маски защиты углов в процессе анизотропного химического травления, не стравятся до границы исходной топологической области жесткого центра преобразователя, что соответствует моменту формирования правильного многоугольника в основании объемной фигуры жесткого центра, самосовмещения топологических слоев преобразователя и выхода на заданную глубину травления. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и линейности преобразования интегрального тензопреобразователя давления. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 3 табл.