Патент №2239178 - Способ определения наличия упругих деформаций в монокристаллических пластинах и устройство для его осуществления

Использование: для определения наличия упругих деформаций в монокристаллических пластинах. Сущность: заключается в том, что способ основан на воздействии на контролируемую пластину пучком рентгеновского излучения, регистрации интерференционной картины дифракции и определении взаимного расположения интерференционных максимумов, по которому судят о наличии упругих деформаций. Особенностью способа является то, что воздействие на пластину осуществляют пучком рентгеновского излучения, сходящимся в точке, расположенной внутри пластины или под нею, а определение взаимного расположения интерференционных максимумов осуществляют для дифракционных отражений от кристаллографических плоскостей вида nКК, где n соответствует индексам кристаллографических плоскостей Н, К или L и неодинаково для разных кристаллографических плоскостей. Устройство для осуществления способа содержит источник рентгеновского излучения со средством формирования упомянутого пучка, предпочтительно в виде фокусирующей рентгеновской линзы, и один или несколько позиционно-чувствительных детекторов рентгеновского излучения для регистрации интерференционной картины дифракции. Средство формирования пучка и детектор (детекторы) установлены с возможностью одновременного обеспечения дифракции для нескольких кристаллографических плоскостей и приема дифрагированного излучения во всем диапазоне углов, содержащем интерференционные максимумы, соответствующие отражениям от указанных выше кристаллографических плоскостей. Технический результат: повышение достоверности контроля и обеспечение его экспрессности, что создает возможность сплошного контроля монокристаллических пластин на разных стадиях производственного процесса. 2 н. и 2 з.п.ф-лы, 9 ил.