Патент №2240636 - Узкополосный газоразрядный лазер с газовой добавкой

Изобретение относится к лазерной технике, а именно к эксимерным лазерам с узкой полосой излучения с частотой импульсов 500-2000 Гц. Лазер содержит лазерную камеру, выполненную из материалов, совместимых с фтором, и содержащую два протяженных электрода, по меньшей мере, один предыонизатор и рабочий газ, развивающий полное давление и состоящий из первого инертного газа, фтора, буферного газа и стабилизирующей добавки, которая содержит кислород в количестве менее чем 10 миллионных долей или второй инертный газ, более тяжелый, чем первый инертный газ, в количестве до 40 миллионных долей. Очень узкой полосы лазера на KrF достигают снижением парциального давления фтора до величины менее 0,10% и увеличением отражения выходного ответвителя до величины свыше 25%. Обеспечено повышение стабильности энергии лазера. 3 н. и 28 з.п. ф-лы, 20 ил.