Патент №2248628 - Пьезосканер многофункциональный и способ сканирования в зондовой микроскопии
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии. Пьезосканер содержит основание, на котором закреплена пьезотрубка со сквозными пазами, выполненными вдоль продольной оси симметрии пьезотрубки и образующими четыре фрагмента. На каждом фрагменте пьезотрубки сформированы основные электроды. Внутренние электроды расположены напротив наружных электродов. На противоположной стороне от основания пьезотрубки установлен держатель объекта. Электроды объединяют программно. Подают пилообразные напряжения на электроды. Осуществляют их С-образные изгибы. Осуществляют сканирование. Технический результат - увеличение диапазона сканирования, расширение функциональных возможностей пьезосканера и способа сканирования в зондовой микроскопии. 2 с. и 12 з.п. ф-лы, 22 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G12B 21/20 | Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда - устройства для сканирования или позиционирования |
| МПК H01L 41/00 | Пьезоэлектрические приборы вообще; электрострикционные приборы вообще; магнитострикционные приборы вообще; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов и их частей; конструктивные элементы таких приборов |