Патент №2258253 - Система контроля технологического процесса для лазеров, используемых в литографии

Изобретение относится к системам контроля и, в частности, к системам контроля работы лазеров. Его использование позволяет получить технический результат в виде создания более совершенной системы контроля лазеров для литографии на предприятиях по производству интегральных микросхем. Технический результат достигается за счет того, что каждый лазер на каждом производственном предприятии связан с соответствующим сервером терминала, при этом на каждом производственном предприятии серверное устройство центрального управления осуществляет обмен информацией с каждым из лазеров через локальную сеть. Сбор информации из лазеров осуществляют посредством серверного устройства центрального управления и используют эту информацию для создания сводной информации, которая является доступной для заинтересованных сторон, которым предоставлено право на доступ в формате Web-узла. 13 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.