Патент №2340024 - Материал для изготовления тонкопленочных резисторов

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении низкоомных тонкопленочных резисторов с прецизионными характеристиками. Материал для изготовления тонкопленочных резисторов содержит хром, железо, алюминий, диоксид кремния, титан при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: хром - 46÷56; железо - 3; алюминий - 9; диоксид кремния - 20÷30; титан - 12. Материал для тонкопленочных резисторов обеспечивает получение низкоомных тонкопленочных резисторов с прецизионными свойствами с удельным поверхностным сопротивлением от 20 до 170 Ом с выходом годных резисторов по ТКС±5×10 -6 1/°С 60-80%, а по ТКС±10×10 -6 1/°С 99-100% в диапазоне температур от 20° до 125°С, со стабильностью в течение 2000 ч при номинальной нагрузке 0,005% при 85°С, а также достигнута более линейная зависимость ТКС от температуры в диапазоне температур от -60° до +20° (ТКС±15-25×10-6 1/°С). 1 табл.