Патент №2344453 - Способ проведения трафаретной рентгеновской литографии

Использование: для проведения трафаретной рентгеновской литографии. Сущность: заключается в том, что зафиксированный на шаблонодержателе рентгеношаблон, содержащий сформированный на его рабочей поверхности топологический рисунок и зафиксированную на подложкодержателе обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем рентгенорезиста, размещают на пути следования экспонирующего излучения, причем ближе к источнику излучения располагают рентгеношаблон, при этом все процессы по изготовлению рентгеношаблона проводят при температуре, равной той, которую имеет рентгеношаблон в рабочей камере литографической станции при проведении экспонирования, и до начала проведения экспонирования рентгеношаблон равномерно по всей его площади подогревают как при помощи электротермического подогрева, так и посредством облучения, не приводящего к появлению в рентгенорезисте дополнительной экспозиционной дозы, подогревающим излучением до заранее определенной температуры и затем данную температуру рентгеношаблона поддерживают при помощи вышеуказанных средств в течение всего времени, пока рентгеношаблон находится в рабочей камере литографической станции. Технический результат: снижение деформационных искажений топологического рисунка рентгеношаблона при проведении экспонирования. 5 ил. (56) (продолжение): CLASS="b560m"11297593 A, 29.10.1999. US 4194233 A, 18.03.1980. SU 1132746 A, 23.08.1988. RU 2187160 C1, 10.08.2002. RU 2082257 C1, 20.06.1997. RU 2145111 C1, 27.01.2000.