Патент №2345337 - Способ контроля механических напряжений в кремниевой структуре пленка sio2 - подложка si
Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов ИС и дискретных полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является расширение технических возможностей способа за счет обеспечения возможности контроля направления вектора механических напряжений. Сущность заявляемого способа контроля механических напряжений в структуре пленка - подложка заключается в формировании между пленкой и подложкой промежуточного слоя, который селективно вытравливается через окна в пленке круглой формы с образованием в зазоре пленка - подложка интерференционной картины, отражающей величину и направление вектора механических напряжений. 4 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК G01L 1/24 | Измерение силы или механического напряжения вообще - путем измерения изменения оптических свойств напряженных материалов, например путем фотоупругого анализа напряжений |