Патент №2350994 - Способ проведения теневой трафаретной рентгенолитографии

Способ проведения теневой трафаретной рентгеновской литографии, при котором рентгеношаблон, содержащий несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности металлическим рентгенопоглощающим топологическим рисунком и обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем рентгенорезиста размещают на пути следования синхротронного излучения, причем ближе к источнику излучения располагают рентгеношаблон, а вышеуказанные рабочие поверхности располагают отстоящими друг от друга на сравнительно небольшом зазоре, параллельно друг другу и ортогонально падающему экспонирующему излучению, отличается тем, что в зазор вводят прозрачную для экспонирующего излучения полимерную пленку. Технический результат - уменьшение разброса экспозиционной дозы и увеличение количества конструкционных материалов. 6 ил., 1 табл. (56) (продолжение): CLASS="b560m"Всесоюзное совещание по использованию синхротронного излучения СИ-82. Новосибирск, 1982, с.260-277. JP 7135156 А, 23.05.1995.