Патент №2403207 - Способ получения углеродного слоя на непроводящей подложке

Способ относится к нанотехнологии слоистых материалов и предназначен для получения нанометровых углеродных слоев на непроводящих подложках для массового производства приборов по планарной технологии. Сущность изобретения: в способе получения углеродного слоя на непроводящей подложке подложку графита окисляют фторированием при условиях, обеспечивающих ей диэлектрические свойства. Получают интеркалированное соединение на основе фторида графита С2Fх с х 1, в котором возможна замена внедренного компонента. При этом используют фтор-окислитель: пары ВrF3 или раствор ВrF3 в Br2. Затем из приповерхностного слоя требуемой толщины 1-4 нм удаляют атомы фтора при условиях, формирующих углеродный слой контролируемой толщины, расположенный на диэлектрике-подложке. Дефторируют посредством химического восстановления в парах воды/гидразингидрата или воздействия облучением ионизирующих частиц - электронным пучком. За счет чисто химического и/или радиационно-химического характера основных операций, а также инициации образования углеродного слоя при дефторировании от поверхности, с распространением вглубь подложки, с реализацией задания толщины формируемого углеродного слоя условиями химического восстановления - концентрацией и температурой паров реагентов, а в случае восстановления электронным пучком - кинетической энергией электронов, достигается увеличение площади цельного углеродного слоя и возможность контроля его толщины. 10 з.п. ф-лы, 4 ил.