Патент №2515600 - Способ получения наноструктурного покрытия
Изобретение относится к технологии нанесения наноструктурных покрытий и может быть использовано в наноэлектронике и наноэлектромеханике. Покрытие получают из композита металл-керамика состава (Co 86Nb12Ta2)x(SiOn )100-x. Осуществляют осаждение композита ионно-лучевым распылением с обеспечением образования гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных сплошной керамической фазой. Концентрацию металлической фазы при распылении выбирают в пределах 20 - 40 ат.%. Получаемые покрытия обладают высокой твердостью и характеризуются высокой стабильностью параметров. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B82B 3/00 | Изготовление или обработка наноструктур |
| МПК C23C 14/06 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - характеризуемые покрывающим материалом 14/04 имеет преимущество |
| МПК C23C 14/46 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника 14/40 имеет преимущество |