Патент №2515875 - Промышленный генератор пара для нанесения покрытия из сплава на металлическую полосу (ii)

Изобретение относится к установке для вакуумного осаждения покрытия из металлического сплава на подложку (7). Генератор - смеситель пара установки содержит вакуумную камеру (6), которая имеет средства для создания в ней разрежения относительно внешней среды и средства, обеспечивающие вход и выход подложки (7). Камера (6), по существу, непроницаема для внешней среды. Эжекторная головка (3) для осаждения пара предназначена для создания струи пара металлического сплава со звуковой скоростью в направлении поверхности подложки (7) и перпендикулярно к ней. Эжекторная головка (3) герметично сообщается с отдельным смесительным устройством (14), которое, в свою очередь, соединено выше по потоку соответственно, по меньшей мере, с двумя тиглями (11, 12), содержащими два разных металла M1 и М2 в жидком виде. Каждый тигель (11, 12) соединен собственной отдельной трубой (4, 4 ) со смесителем (14). В результате достигается возможность дифференцированного и быстро корректируемого регулирования содержания входящих в состав сплава металлов, обеспечивается равномерность испарения и получение качественного покрытия. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 6 ил.

Патент №2515875, изображение 1
Патент №2515875, изображение 2
Патент №2515875, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/24Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - вакуумное испарение
МПК C23C 14/56Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы