Патент №2520568 - Способ изготовления гибкой микропечатной платы
Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий. Технический результат - получение высокоплотного монтажа при ширине электропроводящих дорожек менее 50 мкм, сокращение технологического цикла - достигается тем, что в способе изготовления гибкой микропечатной платы предварительно окисляют пластину монокристаллического кремния толщиной 20-100 мкм, диаметром 200-300 мм, <100> ориентации, предварительно окисленную до толщины окисла 1-2 мкм, с последующим снятием окисла с одной стороны, а после нанесения покрытий и проведения фотолитографии проводят вытравление кремниевой пластины с двуокисью кремния и последующим отделением полимерной пленки с электропроводящей схемой и металлорезестивным покрытием.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК H05K 3/10 | Способы и устройства для изготовления печатных схем - путем нанесения токопроводящего материала на изоляционное основание так, что на последнем образуется требуемая токопроводящая схема |
МПК H05K 3/22 | Способы и устройства для изготовления печатных схем - повторная обработка печатных схем |