Патенты автора — Савушкин Ю.А.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 6, получены - 1991-2004
- B24 – Шлифование; полирование
- B44 – Декоративное искусство
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ полирования полупроводниковых материалов
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов для обработки обратной стороны структур с готовыми чипами, а также при изготовлении исходных пластин-подложек кремния, германия и...
- Способ полирования пластин из керамических материалов
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в производстве пассивных плат для гибридных интегральных схем. Способ полирования включает воздействие на поверхность пластин инструмента и полирующего состава. Последний...
- Способ изготовления панно
Способ изготовления панно для упрощения монтажа заключается в том, что в качестве плоских элементов используют полупроводниковые пластины. 1 з.п. ф-лы, 1...
- Способ изготовления полупроводниковых пластин
Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение технологичности процессов механической обработки, выхода годных пластин, в частности, из материалов группы A3B5 в случае получения пластин с допуском диаметра 0,3 мм и менее....
- Способ получения тонких монокристаллических полупроводниковых слоев на изоляторе или другом полупроводниковом материале
Использование: в технологии изготовления полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: в способе формирования тонких монокристаллических слоев на изоляторе или другом полупроводниковом материале сначала проводят термокомпрессионное соединение...
- Полировальник
Использование: в области алмазного и химико-механического полирования полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: в полировальнике, состоящем из доводочного диска с приводом вращения и закрепленного на его базовой поверхности полировального...