Патент №2305621 - Способ химико-механического полирования
Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление. Полупроводниковую пластину размещают на поверхности полирующего круга. На его поверхность подают жидкий полировальный состав с воздействием ультразвуковыми колебаниями. Упомянутое воздействие осуществляют на рабочей поверхности рабочих окончаний пьезоэлектрических колебательных систем. Обеспечивают амплитуду колебаний рабочих окончаний, достаточную для мелкодисперсного распыления жидкого полировального состава. Производят формирование множества капель аэрозоля жидкого полировального состава. Средний размер и количество капель определяют из условия получения необходимого количества полировального состава на поверхности полирующего круга и обеспечивают выбором резонансного размера колебательной системы. Форму и размер рабочего окончания колебательной системы и количество выходных отверстий на его рабочей поверхности устанавливают из условия формирования факела распыления с продольным размером на поверхности полирующего круга не менее половины диаметра полирующего круга. В результате обеспечивают получение однородной и ровноплоскостной поверхности полупроводниковой пластины за счет нанесения гарантированного количества полировального состава в каждую точку поверхности полировального круга. 5 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B24B 1/04 | Способы шлифования или полирования; применение вспомогательного оборудования в связи с такими способами (способы, отличающиеся использованием особых станков или устройств, см. соответствующие рубрики для этих станков или устройств) - с воздействием вибрацией на шлифовальные или полировальные инструменты, шлифовальные или полировальные среды или детали, например шлифование с помощью ультразвуковой частотыполирование или грубое шлифование поверхностей заготовки с помощью вращающихся полировочных, галтовочных и прочих устройств 31/00, с помощью контейнеров, совершающих колебательное движение 31/06; суперфинишная обработка поверхностей заготовки, например с помощью абразивных брусков, двигающихся возвратно-поступательно с высокой частотой 35/00 |
| МПК B24B 37/04 | Станки или устройства, в том числе вспомогательные, для притирки порошкообразными абразивными веществами - для обработки плоских поверхностей |
| МПК H01L 21/304 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - механическая обработка, например шлифование, полирование, резка |