Патент №2339067 - Рентгенолитографический шаблон и способ его изготовления
Изобретение относится к измерительной технике. В изобретении топологические рентгенопоглощающие рисунки из металла с большим атомным номером формируются на обеих поверхностях несущей мембраны рентгенолитографического шаблона в виде симметричных пространственно совмещенных структур одинаковой толщины. Технический результат - уменьшение величины неплоскостности рабочей поверхности рентгенолитографического шаблона. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G03F 7/12 | Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей - изготовление форм для трафаретной печати или подобных печатных форм, например шаблонов |